製品の採用事例
精密光学露光装置用コントローラ
導入製品
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産業用コントローラC-AP4A-121CN
オールインワンコントローラ
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フィールドバス・省配線MACHATROLINKⅢ
事例説明
概要
精密光学露光装置のコントローラとして、弊社のオールインワンコントローラを採用。
ポイント
- タッチパネル、メカトロリンクのコントローラが一体化
- レシピ管理や設定が簡易にできる
- 省スペース化を実現
- UPS対応
お客様要求事項
- メカトロリンクでサーボモータードライバ制御
- GigE、カメラ、照明の連動に対応
- 電磁弁の制御に対応
- タッチパネル